半導(dǎo)體檢測(cè)儀器是一種用于電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的電子測(cè)量?jī)x器。廣義上的半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，分為前道量測(cè)（又稱(chēng)半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備）和后道測(cè)試（又稱(chēng)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備）。前道量檢測(cè)主要用于晶圓加工環(huán)節(jié)，目的是檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)的要求或者存在影響良率的缺陷，屬于物理性的檢測(cè)；半導(dǎo)體后道測(cè)試設(shè)備主要是用在晶圓加工之后、封裝測(cè)試環(huán)節(jié)內(nèi)，目的是檢查芯片的性能是否符合要求，屬于電性能的檢測(cè)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)儀器行業(yè)產(chǎn)值為165.1億元ob電競(jìng)?cè)肟冢?，市?chǎng)規(guī)模為283.5億元。

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